ICP-MS terminolojisindeki bazı sözcüklere ilişkin açıklamalar aşağıda belirtilmiştir.

Amu: (atomic mass unit – atomik kütle birimi), izotop kütlelerinin ölçülmesinde kullanılan kütle birimidir.
Analiz Hatası (Error): Analiz sonucundaki belirsizlik. Örnekleme, örnek hazırlama, ölçüm vb tüm aşamalardaki belirsizliklerin toplamıdır.
Argid: Örnek içindeki elementlerin Argon gazı ile oluşturduğu bileşiklerin genel adıdır. Bu bileşikler plazma ortamında oluşur ve ICP-MS içine taşınırlar. Plazma ısısının ayarlanması ve/veya CCT teknolojisinin uygulanması ile yok edilebilirler.
CCT Teknolojisi: "Collision Cell Technology", molekül şeklindeki iyonlaşmış element topaklarının gaz molekülleri ile çarpıştırılması yoluyla topak atomlarının serbest kalmasını sağlayan bir teknik.
Çokluatomik Türler: (Polyatomik species): Örnek içindeki elementlerin kendi aralarında oluşturdukları bileşiklerdir. Bu bileşikler plazma ortamında oluşur ve ICP-MS içine taşınırlar. Plazma ısısının ayarlanması ve/veya CCT teknolojisinin uygulanması ile yok edilebilirler.
Dışsal Standart: "External Standard", Çözelti-ICP-MS tekniğinde cihazın nicel değerler üretebilmesi için kalibrasyonu amacıyla kullanılan, çok sayıda elementin seçilmiş izotoplarından oluşan çözelti.
ICP-MS: (Inductively Coupled Plasma – Mass Spectrometer) Endüksiyonla Çiftlenmiş Plazma – Kütle Spektrometresi
İçsel Standart: "Internal Standard", Çözelti-ICP-MS tekniğinde ölçüm doğruluğunun kontrol edilmesi amacıyla örneklere eklenen, tercihen örnekte bulunmayan bir elementin en bol bulunan izotopunu içeren çözelti. Teknik olarak İçsel Standart olarak kullanılan bir elementin derişim değeri belirlenmemektedir. Bir elementin derişim değerine gereksinim duyuluyorsa, bu elementin İçsel Standardt olarak kullanılmaması gerekmektedir.
Katı Standart LA Standardı:
LDPE: "Low Density Poly Ethylen", halk dilinde plastik olarak adlandırılan bir tür polimer.
M/z oranı: (mass / charge ratio – kütle / yük oranı), bir izopun kütlesinin sahip olduğu elektrik yüküne oranıdır.
Niceliksel Analiz: ICP-MS tekniğinde niceliksel (kantitatif) analiz hedeflenen bir parametrenin (örg. Hg) derişiminin kesin ve doğru biçimde belirlenmesidir. Bu amaç kalibrasyon olarak adlandırılan bir işlemle gerçekleştirilir. Kalibrasyon, cihaz tarafından elektronik olarak ölçülen derişim değerlerinin gerçek derişim değerlerine nasıl dönüştürüleceğinin cihaza öğretilmesi işlemidir. Doğru bir kalibrasyon yapılmaksızın düzgün çalışan bir cihazın ölçümleri gerçek değerlere dönüştürülemez. ICP-MS kalibrasyonunda ölçümü yapılacak elementin en bol bulunan izotopunun farklı derişimlerdeki çözeltileri kullanılır. Bu çözeltiler NIST
Traceable Stok Standart’lardan ultra temiz kaplar kullanılarak gerçekleştirilen Ultra safsu seyreltmesi yoluyla hazırlanırlar.
NIST Traceable Stok Standard Entrumental analizde ölçüm doğruluğu kalibrasyonda kullanılan element/izotop standardlarının derişim doğruluğuna bağlıdır. ICP-MS ölçümlerinde NIST tarafından geliştirilen standard çözeltileri ticari kuruluşlar tarafından üretilen sürümleri kullanılır. "NIST Traceable" terimi üretilen standardın orijinal NIST standardı ile uyumlu olduğunu belirtmektedir.
NIST: National Institute of Standards and Technology. ABD’nde ölçüm standardlarının hazırlanmasından sorumlu kurum (eski adı NBS: National Bureau of Standards).
Ölçüm Doğruluğu (Accuracy): Bir ölçümün GERÇEK değerden sapma miktarıdır. Grafik gösterim için tıklayınız.
Ölçüm Hatası (Error): Ölçüm sonucundaki belirsizlik. Ölçüm hassaslığı ve doğruluğundaki sapmaların toplamıdır.
Servis Laboratuvarı Konsepti: Bir laboratuvarın sürekli ve yüksek kaliteli hizmet üretebilmesi kaliteli cihaz, kaliteli kimyasal malzeme ve madde, iyi eğitilmiş kullanıcı vb etkenlere bağlıdır. Bu etkenlerin tümünün birden karşılanması pahalı techizat ve eğitim yatırımlarını gerekli ve sürekli kılmaktadır. HÜ Jeoloji Mühendisliği Bölümü "Stratejik Gelişme Planı’nın" bir parçası olan Servis Laboratuvarı Konsepti’nin amacı yüksek finansal girdiler ile oluşturulan alt yapının olabildiğince geniş araştırma disiplininden araştırmacıların hizmetine sunulması; bu yolla yatırımdan elde edilecek fayda/masraf oranının maksimize edilmesi, sınırlı kaynakların israf edilmemesidir. Günümüzün hızla gelişen teknolojisinde analiz cihazlarının kabiliyetleri ile orantılı olarak fiyatları da sürekli artmakta, buna karşın firmalarca taahüt edilen yedek parça sağlama süresi 5-7 yıl gibi sınırlı bir zaman dilimine çekilmektedir. Bu koşullar altında, araştırma altyapısının en yaygın ve etkin biçimde kullanılması fayda/masraf oranının maksimize edilmesinin tek yoludur.
Teflon: "Teflon", halk dilinde plastik olarak adlandırılan bir tür polimer.
Ultra İz Element Ölçümü: Ultra İz Element Ölçümü ile ppb ve altındaki derişimlerin ölçülmesi tanımlanmaktadır.
Ultra Saf Asit: Çözelti kimyasında kullanılan asitler üretim süreçleri sonrasında ilgili asit dışındaki elementlerden de bir miktar içerirler. Asidin saflaştırılması pahalı bir işlem olduğundan, asitler farklı saflık kalitesinde üretilir ve satılırlar. Hassas olarak tanımlanan ppm düzeyindeki diğer analiz tekniklerinde "suprapur" olarak adlandırılan saflıkta asit kullanılır. Bununla birlikte, ICP-MS analizlerinde hedeflenen hassaslık açısından "suprapur" asitlerin saflığı yeterli değildir. Bu nedenle, "ultrapur" kalitede asit kullanılması gereklidir. Birim hacim maliyeti açısından ultrapur asit suprapur asitten 10 ile 20 kat daha pahalıdır (örğ: 250 USD/100 mL). Yüksek maliyetten dolayı asit kullanımının yoğun olduğu ICP-MS analizleri için gereksinilen ultrapur asit suprapur asidin yavaş ısıl damıtma işleminden geçirilmesi ile sağlanır.
Ultra Saf Su: Çözelti kimyasında safsu kalitesi büyük önem taşır. Safsu üretimi, suyu içerdiği H2O dışındaki bileşenlerden ayırma işlemidir. Bu amaçla kullanılan başlıca teknikler kaynatma-yoğunlaştırma, aktif kömür ve membran filtre ile süzmedir. Çözücü etkisinden dolayı su temas ettiği malzemeyi oluşturan bileşenleri çözerek bünyesine alma eğilimindedir. Örneğin Pyrex (borosilikat) camdan yapılmış damıtma sistemlerinde camın suda çözünmesinden dolayı yüksek saflıkta su üretimi damıtma işlemi tekrarlansa bile mümkün değildir. Bu nedenle, ICP-MS analizlerinde gereksinilen ultra safsu aktif kömür – reçine arıtmasını takiben ters-osmoz tekniğine dayalı ultra filtrasyon sonucu üretilir. Üretilen suyun direnci 18.2 mega ohm ya da üzerindedir.
Ultra Temiz Kap: "Kap" terimi ile LDPE ya da diğer yüksek kaliteli plastik (polimer) malzemeden üretilmiş, tıpalı ve vidalı kapalı şişe vb tanımlanmaktadır. Bu kapların, ultra temiz hale getirilmesi için, musluk suyu ile yıkanmalarını takiben bi-distile ya da tri-distile su ile durulanmaları, % 2’lik ultrasaf HCl çözeltisinde en az 24 saat bekletilmeleri ve oda sıcaklığında kurutulmaları gerekir. Aynı işlemler tıpa için de uygulanmalı, kurutulmuş kapların tıpaları kullanılana kadar kapalı tutulmalıdır.
Yarı-Niceliksel Analiz:ICP-MS teknolojisinde kalibrasyonu yapılmış element derişimlerinden hareketle kalibrasyonu yapılmamış element derişimlerinin de belirlenmesi mümkündür. Bu şekilde yapılan ölçümler "Yarı-Niceliksel Analiz" olarak adlandırılır. Yarı-Niceliksel Analiz tekniği ile üretilen derişim değerleri +/- %30 ölçüm hatası içerirler.