Derişim Birimleri
ICP-MS analizlerinde kullanılan derişim birimlerine ilişkin aöıklamalar aşağıda verilmiştir.
| Birim | Açık İfade | Üstel İfade | Kütlesel İfade |
| ppm | Part per million (milyonda bir parça) | 10-6 | miligram/kilogram |
| ppb | Part per billion (milyarda bir parça) | 10-9 | mikrogram/kilogram |
| ppt | Part per trillion (trilyonda bir parça) | 10-12 | nanogram/kilogram |
| ppq | Part per quatrillion (katrilyonda bir parça) | 10-15 | pikogram/kilogram |